反射金相顯微鏡由鏡筒、真空系統和電源柜三部分組成。

　　鏡筒主要有電子槍、電子透鏡、樣品架、熒光屏和照相機構等部件，這些部件通常是自上而下地裝配成一個柱體；真空系統由機械真空泵、擴散泵和真空閥門等構成，并通過抽氣管道與鏡筒相聯接；電源柜由高壓發生器、勵磁電流穩流器和各種調節控制單元組成。

　　該系統分成兩部分：電子槍和會聚鏡。電子槍由燈絲(陰極)、柵級和陽極組成。加熱燈絲發射電子束。在陽極加電壓，電子加速。陽極與陰極間的電位差為總的加速電壓。經加速而具有能量的電子從陽極板的孔中射出。射出的電子束能量與加速電壓有關，柵極起控制電子束外形的作用。電子束有一定的發散角，經會聚鏡調節后，可看得到發散角，很小甚至為0的平行電子束。電子束的電流密度(束流)可通過調節會聚鏡的電流來調節。

　　反射金相顯微鏡是將精銳的光學顯微鏡技術、先進的光電轉換技術、的數碼成像技術完美地結合在一起而開發研制成功的一項高科技產品，既可人工觀察金相圖像，又可以在數碼相機上很方便地適時觀察金相圖像，并以數碼照片記錄下來，從而對金相圖譜進行分析，評級等，還可以數碼沖洗或打印出高像素金相照片。